気液二相流を用いた表面洗浄

• 気液二相流を用いた表面洗浄
  • 気液二相噴流による洗浄効果と気泡の微細化

キャビテーション噴流または気液二相噴流を，物質分解，洗浄，殺菌，水質浄化，表面加工などに有効利用する試みがある．本研究では，ベンチュリ管を用いた気液二相噴流中での気泡の微細化ならびに微細気泡を含む気液二相噴流よる洗浄機構を解明を行う .

                                                                               
                                  　　　Fig. 1   Formation of  microbubbles in a Venturi tube                                                    

• • 高濃度マイクロバブル水による半導体洗浄

半導体の3Dパッケージ化に伴い，銅基板の酸化ならびにパターン崩壊を抑制しつつ，衝撃力に頼らずに微細異物を除去する洗浄技術の開発が求められている．その実現のため，本研究は大量のマイクロバブルを含む高濃度過飽和気泡水を用いた洗浄技術を開発することを目的とする．具体的には，マイクロバブルを生成するガス種を変えた高濃度過飽和気泡水を生成し，その特性を調査するとともに，種々の対象物に対する洗浄効果を検証する．

Fig. 2 Experimental apparatus