お知らせ

2025年5月28日

Nano Express誌に論文が掲載されました

固体フッ素源を用いた二次元半導体トランジスタの表面処理に関する論文がNano Express誌に掲載されました。処理対象のトランジスタとPTFE（テフロン）のシートをプラズマ装置内に一緒に入れると実施できます。

筆頭著者は卒業生の木井君です。論文は次のリンクからどうぞ。