お知らせ
2025年10月10日
Nanoscale誌に論文が掲載されました
二次元半導体にレーザー光を照射してから水に漬けると、照射部分が除去されてパターニングが可能であることを見出した論文が、Nanoscale誌に掲載されました。既存のパターニング手法での問題点(リソグラフィーでのレジスト残渣やレーザーアブレーションでの熱ダメージ)を軽減可能な新手法になり得る成果です。
筆頭著者は卒業生の田原君です。論文は次のリンクからどうぞ。
2025年10月10日
二次元半導体にレーザー光を照射してから水に漬けると、照射部分が除去されてパターニングが可能であることを見出した論文が、Nanoscale誌に掲載されました。既存のパターニング手法での問題点(リソグラフィーでのレジスト残渣やレーザーアブレーションでの熱ダメージ)を軽減可能な新手法になり得る成果です。
筆頭著者は卒業生の田原君です。論文は次のリンクからどうぞ。