実績

2016年10月3日

  • 研究プロジェクト

■科学研究費補助金 基盤研究(B)　2016年度-2018年度　(研究代表者）

「圧電MEMSと強誘電体ゲートFETの集積化素子による高感度超音波検出の実証」　（吉村　武）