実績
2025年10月16日
- 学会発表
第44回電子材料シンポジウム(EMS44)
– 2025年10月、 奈良 –
■Analysis of electronic structure of Hf-based ferroelectric/β-Ga2O3 interface Katsuhiro Furukawa
■Growth of N-doped β-Ga2O3 thin films by rf plasma-assisted ALD Shodai Ata
2025年10月16日
– 2025年10月、 奈良 –
■Analysis of electronic structure of Hf-based ferroelectric/β-Ga2O3 interface Katsuhiro Furukawa
■Growth of N-doped β-Ga2O3 thin films by rf plasma-assisted ALD Shodai Ata