実験装置
研究室所有の実験装置
- 複合ビーム加工観察装置 （FIB-SEM）※共用機器として運用
- 複合薄膜製造装置（電子線蒸着・ＲＦスパッタ・イオンガン・抵抗加熱蒸着・試料交換室）
- MBE装置（Kセル・電子線蒸着・RHEED・試料交換室）
- 冷媒フロー型４探針プローバ―（磁場印加機構付き）
- ベクトルネットワークアナライザ（40GHz）
- スペクトルアナライザー・信号発生器（40GHz）
- オシロスコープ
- 高速パルスジェネレータ―
- ウェッジボンダー
- 各種ＴＥＭホルダー（電気信号印加用、冷却用、不活性雰囲気対応 etc.）
- 真空排気システム
- ＰＰＭＳ各種ホルダー
etc.
共用設備 / 共用機器（大阪公立大学＠なかもずキャンパス）
- 高規格クリーンルーム
- 電子線描画装置
- 集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）
- 走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）
- ヘリウム液化装置・ガス循環システム
- 物理特性計測システム（ＰＰＭＳ）
- 磁気特性計測システム（ＭＰＭＳ）
- 透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）
- レーザー顕微鏡
etc.