Gallery（装置＆データ）

研究室所有の実験装置

• 複合ビーム加工観察装置 （FIB-SEM）※共用機器として運用
• 複合薄膜製造装置（電子線蒸着・ＲＦスパッタ・イオンガン・抵抗加熱蒸着・試料交換室）
• MBE装置（Kセル・電子線蒸着・RHEED・試料交換室）
• 冷媒フロー型４探針プローバ―（磁場印加機構付き）
• ベクトルネットワークアナライザ（40GHz）
• スペクトルアナライザー・信号発生器（40GHz）
• オシロスコープ
• 高速パルスジェネレータ―
• ウェッジボンダー
• 各種ＴＥＭホルダー（電気信号印加用、冷却用、不活性雰囲気対応　etc.）

• 真空排気システム
• ＰＰＭＳ各種ホルダー   

etc.

共用設備 / 共用機器（大阪公立大学＠なかもずキャンパス）

• 高規格クリーンルーム
• 電子線描画装置
• 集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）
• 走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）

• ヘリウム液化装置・ガス循環システム
• 物理特性計測システム（ＰＰＭＳ）
• 磁気特性計測システム（ＭＰＭＳ）

• 透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）
• レーザー顕微鏡

etc.