28_共焦点３次元蛍光X線分析装置（大気仕様）

測定可能元素	Cl～（ただし試料による）
空間分析能	～14µm（Au Lα）
試料形状	縦･横：15mm以内厚さ：5mm以内
検出限界	約10ppm（ガラス標準物質SRM621にて評価）
特徴	水溶液セルを利用して液中でのその場モニタリング可能

28_共焦点３次元蛍光X線分析装置（大気仕様）(自作)自作【購入年:H23，辻幸一，工学部B棟116室】

水溶液セルを用いることで、液中における元素分布変化のその場観察が可能です。

試料表面近傍の任意の深さにおける元素分析が可能です。

また、深さを選択した2次元元素分布像の取得も可能です。その他、深さ方向の情報を有する元素分布像の取得についても可能です。

特に、水溶液セルを用いた水溶液中でのその場観察が可能です。

【測定例】
測定例1：その場分析（塩水中での鉄鋼腐食モニタリング）
水溶液中に置かれた金属試料の腐食挙動を各元素の分布変化として観察できます。

測定例2：元素分布解析
塗膜、皮革や木材などの複雑な構造を持つ試料の断面元素マッピングを取得できます。

工学研究科

杉本キャンパス工学部B棟116室

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