31_X線光電子分光装置

計測 分析法

機器名 メーカー名 型番

31_X線光電子分光装置(株式会社島津製作所)ESCA3400【購入年:H28　，辻幸一，工学部B棟106E室】

仕様 特徴

• 金属、セラミックス、高分子材料など、さまざまな試料に対応
• 測定操作は極めて簡単
• 高度の自動分析機能とデータ処理

軟X線照射によって、固体表面から放出された光電子の結合エネルギーを測定する分析手法です。
光電子の脱出深さが数ナノメートルであることから、固体最表面に近い層からの情報が得られます。
また、酸化の状態や有機物の官能器の種類などに依存して、化学シフトと呼ばれるピークシフトが観測されます。
励起源として軟X線を用いているため、試料に対するダメージが小さいことや、絶縁物の分析も容易です。

【測定例1：材料の品質管理、製造管理のために】

• 金属材料
  (酸化膜厚や不働態膜の膜厚管理、表面汚染の測定、表面濃化や偏析の管理、腐食の管理、鋼板などの表面処理の評価)
• ガラス・セラミックス
  (表面組成の管理、光学材料のコーティングの管理、表面偏析、変質の管理)
• 電子、半導体材料
  (半導体ウェハの有機汚染管理、薄膜や多層膜の膜厚管理、ハードディスクの潤滑膜厚の測定、磁気テープの潤滑膜厚の測定、表面処理の管理)
• 高分子材料
  (高分子フィルムの表面改善の管理、高分子の接着性の評価、食品包装フィルムの汚染評価、繊維の撥水加工処理の評価、繊維のコーティングの管理)
• 触媒
  (触媒の活性度評価)

【測定例2：材用、部品、製品の不良解析や研究のために】

• 触媒の失活
  (Pbなどの金属の酸化度の測定、表面の有機物汚染の測定)
• すべり性の低下
  (潤滑膜厚の測定、コーティングのはがれの評価、機械部品の潤滑層の酸化の評価)
• 材料表面の変色
  (汚染不純物元素の測定、汚染物質の状態分析、表面酸化や汚染などの原因究明、腐食の進行度と状態の評価)
• 高分子フィルムの接着性の低下
  (官能基の測定、表面酸素濃度の測定)

学内 利用料金設定

• • 本人測定：料金は別途問い合わせください。
  • 依頼分析：料金は別途問い合わせください。

学外 利用料金設定

• • 本人測定：5,700円/時間　※別途 技術指導料（2,600円/時間）がかかります。
  • 依頼分析：8,200円/時間
    
  • 学術指導：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。
  • 共同 受託研究：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。

管理部局

工学研究科

設置場所

杉本キャンパス 工学部B棟106E室

問い合わせ先

大阪公立大学　杉本キャンパス　研究推進課　研究基盤共用センター