34_電界放出型走査電子顕微鏡

電界放出型走査電子顕微鏡（日本電子：JSM6500F）

計測 分析法

最大倍率 10万倍（ただし試料による）
試料形状 直径：30mm以内
高さ：10mm以内
特徴 材料の表面形状を高倍率で観察することができる．電界放出型電子銃なので，プローブ電流が高い．

機器名 メーカー名 型番

電界放出型走査電子顕微鏡(日本電子株式会社)JSM6500F【尾島由紘，工学部B棟527室】

仕様 特徴

・通常の二次電子像に加えて，反射電子(後方散乱電子)像の撮影が可能
・Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy(EDS)による化学分析
・Electron Backscatter Diffraction(EBSD)法による結晶方位解析

　高いプローブ電流の条件で反射電子像を取得することで，原子番号コントラストや結晶方位(電子チャンネリング)コントラストを得ることができる．

　SEM/EDS法は分解能が高く，1μm程度の領域でも元素分析ができる．

　表面を平滑に研磨した結晶性材料に対しては，EBSD法で広い範囲で結晶方位を得ることができる．付属のソフトで極点図や粒界マップなどの描画が可能．

　導電性が無い試料については，金やオスミウムなどによるコーティングが必要．ただし，低加速電圧で低倍率での観察ならば，コーティングなしでも観察可能な場合あり．

　水分を含んだり，真空中でガスを放出する材料については観察不可．

【測定例1：材料の開発のため】
表面の観察，粒子の形態観察，反射電子像による重原子相の同定，EBSD法による集合組織の分析，EDSによる元素マッピング，EDSによる定量分析，EBSDとEDSの組合わせによる相同定．

【測定例2：材料の損傷解析のため】
破面形態観察，すべり帯・せん断帯の観察，腐食の分析，結晶格子回転の解析，相変態の解析，自己組織化した転位構造の観察．

学内 利用料金設定

    • 本人測定：料金は別途お問い合わせください。

学外 利用料金設定

    • 学術指導：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。
    • 共同 受託研究：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。
管理部局

工学研究科

設置場所

杉本キャンパス 工学部B棟527

問い合わせ先

大阪公立大学　杉本キャンパス　研究推進課　研究基盤共用センター