38_卓上型全反射蛍光X線分析装置

卓上型全反射蛍光Ｘ線分析装置（リガク：ナノハンターⅡ）

計測 分析法

測定可能元素 Al～Uまで（ただし試料による）
試料形状 10µL程度の水溶液
検出限界 約10ppb
特徴 微量液体のppb分析や、固体表面の極微量付着物分析

機器名 メーカー名 型番

38_卓上型全反射蛍光X線分析装置(株式会社リガク)NANOHUNTERⅡ【購入年:H31，辻幸一，工学部B棟116室】

仕様 特徴

・液体中および固体表面の極微量元素をppbレベルで高感度分析

全反射蛍光Ｘ線分析法を採用し、液体中や固体表面の極微量元素をppbレベルで高感度分析できる卓上型全反射蛍光Ｘ線分析装置の次世代機です。全反射蛍光Ｘ線分析法は、試料に対してすれすれにＸ線を入射する手法で、試料に含まれる極微量元素の低バックグラウンド・高感度測定を可能にしています。

環境規制が厳格化する中、たとえば工場廃液などに含まれるAs（ヒ素）、Se（セレン）およびCd（カドミウム）などについて、ppbレベルの分析をより簡単な方法で行いたいというニーズは高まりを見せています。本装置を使用すれば、液体の水滴を試料板に垂らし、乾燥させてから測定するという簡便な方法で、ごく少量の試料でも、ppbレベルの分析が可能です。また、内標準物質を使った定量分析も容易に実行することができます。

本装置は、全自動光軸調整システムによる安定した高感度分析と、卓上型で扱いやすく、手軽に操作できる機動性を兼ね備えた装置です。600Wの高出力Ｘ線源と新開発のミラー、大面積のSDD検出器により、高強度・高感度測定を可能にしています。Cdの検出下限は2ppb。液中のAsやSeの場合、0.8ppb以下の検出限界を実現しています。

Kα線を高効率に励起できることも大きな特長です。これまで原子番号48のCdは、Kα線を励起することが困難で、測定の難しいL線による分析に頼ってきました。しかし、本装置で使用する新開発のミラーは約30keVの高エネルギー励起源を利用できるため、高S/Nでクリアなピークを得られるKα線を使ったCd測定が可能です。工場廃液のスクリーニング分析や、ワインに代表される飲料分析といった分野で、広く活用されることが期待できます。

固体表面の分析においては、主に薄膜・フィルム分野において、表面より少し深い部分の分析も行いたいというニーズもあります。こうした分析の場合、Ｘ線の入射角を変えることで、奥にある元素を励起させて分析する斜入射蛍光Ｘ線分析法を使用します。本装置は、入射角度変更機能を備えているため、情報深さを変えて表面分析を行うことを可能にしています。この仕組みは、ナノパーティクルサイズの研究などに活用することができます。

その他の特長

  • 広範囲な元素を検出
    検出可能な元素範囲は、原子番号13のAl（アルミニウム）から、原子番号92のU（ウラン）までです。
  • 極微量な試料を測定
    液体試料の場合、必要な試料量は10µL～50µLで良く、一般の化学分析法に比べて数10分の１で済みます。微量な遺留物を非破壊分析したい法科学分野からのニーズにも十分にこたえることができます。
  • 連続測定が可能
    16試料交換機を搭載し、自動運転・夜間運転が可能です。
  • 場所を選ばず設置
    AC100V電源のみで稼働し、分析ガスは不要。Ｘ線管理責任者の届け出も不要です。

旧NANOHUNTERからの主な強化ポイント

  • 高出力Ｘ線源を採用
    600WのＸ線源を搭載。従来の50Wに比べて大幅な出力強化を果たしました。
  • Mo励起で100倍の感度向上
    Cu励起（8keV）で10倍、Mo励起（18keV）なら100倍の感度向上を実現しました。CuとMoの間にある原子番号30～41の原子を高効率に励起できるほか、新開発の多層膜ミラーにより、原子番号44～49のKα線を励起できるようになりました。

学内 利用料金設定

    • 本人測定：料金は別途問い合わせください。
    • 依頼分析：料金は別途問い合わせください。

学外 利用料金設定

    • 本人測定：4,800円/時間　※別途 技術指導料（2,600円/時間）がかかります。　
    • 依頼分析：7,300円/時間
    • 学術指導：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。
    • 共同 受託研究：実施及び費用は双方で協議の上、決定します。
管理部局

工学研究科

設置場所

杉本キャンパス 工学部B棟116室

問い合わせ先

大阪公立大学　杉本キャンパス　研究推進課　研究基盤共用センター