研究設備

    ・周波数特性分析器                     ・高温プローバー     　                 ・送風定温恒温器 ×２台             ・スピンコーター

    ・電気化学 計測システム①          ・電気化学 計測システム②          ・パルスジェネレータ―                 ・RTA装置①

                                                       　　　　　　　　　　　　　        &オシロスコープ

    ・半導体パラメータアナライザ     ・強誘電体テストシステム①          ・強誘電体テストシステム②         ・セミオートプローバー

    ・小型ボックス炉                           ・Gold Image炉                          ・RTA装置②　　　　　　　　  ・スパッタ装置

    ・CVD装置①　　　　　　　　  ・CVD装置②　　　　　　　　   ・CVD装置③