実験装置
主な実験装置
| 高真空RFスパッタ装置（1元） | 原子層堆積装置（ALD） | 高真空抵抗加熱蒸着装置 | 高真空抵抗加熱蒸着装置 |
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| 走査型電子顕微鏡（SEM） | 原子間力顕微鏡（AFM） | 小型原子間力顕微鏡（AFM） | 蛍光顕微スペクトル測定装置 |
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| 分光光度計 | He-Cdレーザー | 4Kクライオスタット | 電磁場解析シミュレーション |
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| 高温電気炉 | スピンコーター | インプリント装置 | ハイパースペクトルカメラ |
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| 超音波診断装置 | 光スペクトラムアナライザ | フェムト秒Ti:Sapphireレーザー | ストリークスコープ |
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| 再生増幅ピコ秒レーザー | 9Kクライオスタット | ライブセルイメージング装置 | 多元スパッタ装置 |
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共同利用装置
| 電子線描画装置（EB） | 電界放出形走査電子顕微鏡 | ||
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