ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡システム

仕様 特徴

電子銃はショットキー電界放出型であり、二次電子分解能は0.5nm（加速電圧：15 kV）以下です。また、軟X線発光分光器とウインドウレス型EDS 検出器を搭載しています。さらに、電子顕微鏡内部で試料の充放電が可能なホルダーを有します。加えて、前処理装置として、試料の断面を作製し、大気に曝露せず、本装置に試料を搬送できる機構を持つクロスセクションポリッシャを備えます。