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• 300MHz核磁気共鳴装置
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• 磁気特性測定システム
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  （PPMS）
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• 超音波熱圧着
  ウェッジワイヤーボンダー
• ロードロック式
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• 触針式表面形状
  ・膜厚段差測定装置（Dektak）
• 精密電子天秤
• 精密電子天秤
  （マイクロ天びん）
• 卓上型走査電子顕微鏡
• 触針式表面形状・
  膜厚段差測定装置（Dektak）