ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡（アレイトモグラフィー対応）

仕様 特徴

ショットキー電界放出電子銃と先進的な電子光学制御システムを搭載した高分解能FE-SEMです。0.5nmクラスの高分解能観察と広い加速電圧範囲により、多様な試料の微細構造観察に対応します。自動観察・分析機能やEDS統合により、観察から元素分析までを効率的に実施可能です。さらに、自動化機能により測定の再現性と作業効率を向上させ、連続切片観察（アレイトモグラフィー）による三次元構造解析にも対応します。