クリーンルーム

本学の中百舌鳥キャンパスC10棟２階には、垂直一方向流式（ダウンフロー方式※）のクリーンルームがあります。ナノテクノロジー研究に関連した微細加工のための機器装置が多数設置されており、管理責任者が許可した研究グループに使用いただいています。
※室内全域に一様な垂直方向の清浄空気の流れを形成し、内部に発生した汚染物質をピストン的に押し流す効果を利用する気流方式です。

• クリーンルームとは

  空気中に浮遊している粒子（パーティクル、塵）は微細加工の不良原因となるので、少なくする必要があります。
  クリーンルームは空気中の粒子濃度を非常に低く抑えた部屋であり、温度、湿度、圧力なども制御されています。天井からフィルターを通過した清浄空気が床のグレーチングと呼ばれる空気の抜け道まで、上から下への一方向の流れを形成し、粒子を巻き込みません。
  また、クリーンルームの中の圧力は外部に比べ高く設定されているので、外部への気流が発生し、外部からの粒子の侵入を抑えています。

  

• クリーンクラスとは

  クリーンルームの空気のきれいさを表す指標を清浄度またはクリーン度といい、一般に「クラス100」や「クラス100,000」といった呼び方が使われます。これは米国の連邦規格に由来し、1ft（1ft=0.3048m）の空間に 0.5 ㎛以上の粒子が何個存在するかを表現します。クラス100は、「1ft³中に0.5㎛以上の粒子が100個以下」の清浄空間です。