34_複合ビーム加工観察装置（FIB-SEM）

仕様 特徴

ガリウム線と電子線を操る複合ビーム加工観察装置です。FIBは最大照射電流90 nAの高電流密度Gaイオンビームを採用しており、高速加工が可能です。SEMは低加速条件で高空間分解能（1 kV/1.6 nm）を実現し、大電流条件においても高い空間分解能を維持します。さらに、大口径EDS（エネルギー分散型X線分析装置）を搭載しており、高速な組成分析が可能です。ナノマニピュレーター（OmniProbe350）を付属しており、SEMおよびFIBで観察しながらリフトアウト作業を行うことができるため、試料室内でTEM試料の作製を完結させることが可能です。また、大気非暴露トランスファーシステムを搭載しており、試料を大気に晒すことなく加工、取り出し、持ち運びが可能です。