触針式表面形状・膜厚段差測定装置（Dektak）

仕様 特徴

本装置は、直径150 mm以下の基板上に形成された膜の段差、表面粗さ、うねりなどの表面形状を高精度に測定する触針式表面形状測定器です。Au、Ag、Alなどの金属薄膜や有機薄膜といった柔らかい試料に対しても、表面を損傷することなく測定が可能であり、微細加工された溝の深さなどの評価にも対応しています。


【主な特徴】
・膜厚段差、表面粗さ、うねりの高精度測定が可能です
・柔らかい薄膜でも非破壊に近い形で測定できます
・微細構造（溝深さなど）の評価に対応しています
・多様な解析パラメータによる詳細な表面評価が可能です


【測定性能】
・垂直表示レンジ：6.5 nm～524 μm
・垂直方向分解能／測定レンジ：
　0.1 nm／6.5 μm
　1 nm／65.5 μm
　8 nm／524 μm
・最高垂直分解能：0.1 nm
・膜厚測定再現性：1σ＝0.6 nm以下
・測定距離：50 μm～55 mm
・測定時間：3～400秒


【測定条件】
・触針圧：1～15 mg
・触針半径（標準）：12.5 μmR


【ステージ仕様】
・サンプルサイズ：最大直径150 mm
・移動範囲：
　X：±50 mm
　Y：＋75 mm、－25 mm
　θ：360°


【解析機能（30種類）】
・粗さ解析：Ra、Rq、Rp、Rv、Rt、Rz_din、MaxRa、Maxdev、Skew
・うねり解析：Wa、Wq、Wp、Wv、Wt、Wmaxdev
・高さ解析：ASH、AvgHt、Peak、Valley、P_V、TIR、Pc、HSC
・幾何学解析：Area、Slope、Volume、Radius、Perimeter、Sm、Tp