共焦点３次元蛍光X線分析装置（真空仕様）

仕様 特徴

本装置は、共焦点微小部蛍光X線分析法により、試料表面近傍の任意の深さで測定を行うことが可能です。試料を走査することで、3次元的な元素分布像を非破壊で取得することができます。また、測定雰囲気を真空とすることで、Mgなどの軽元素の測定にも対応しています。


【主な特徴】
・任意深さでの元素分析が可能
・3次元元素分布の非破壊取得が可能
・真空測定により軽元素（Mgなど）の分析に対応


【測定例1：元素分布像の取得】
・毛髪や食品など、多様な形態の試料内部の元素分布を取得可能


【測定例2：層構造解析】
・塗膜を有する自動車用めっき鋼板などの層構造試料に対し、深さ方向の元素分布を非破壊で取得可能


【仕様】
・測定可能元素：Mg～（試料による）
・空間分析能：約14 µm（Au Lα）
・試料形状：縦・横 15 mm以内、厚さ 5 mm以内
・特徴：真空下での測定