集束イオンビーム（FIB）ナノ加工顕微鏡装置

仕様 特徴

1．早く、綺麗な加工
大電流イオンビームにより目的の試料をより早く、綺麗に加工することが可能
2．加工ダメージの低減
低加速電圧の加工により加工ダメージの低減が可能
3．安全性
ソフトウェアでの各種操作はオペレ－タ別にログイン/ログアウトで管理が可能 省エネモ－ドにより、加工終了後のGaイオン源の消費低減を実現
4．多彩なGIS
最大2基のGISを装備可能。目的に応じたガスの使用が可能
5．省スペース
省スペース設計の鏡筒架台と操作架台で構成