47_X線回折装置（XRD）

仕様 特徴

本装置は、1次元X線検出器（D/teX Ultra 250）を搭載しており、高速測定が可能なX線回折装置です。
粉体試料のθ-2θX線回折に加え、光学パーツの切り替えによりロッキングカーブ、逆格子マップ、極点測定、インプレーン回折、反射率測定など、多様な薄膜試料測定に対応しています。また、粉体試料などに対する小角散乱測定も可能です。測定データの解析にはPDXL2、NANO-Solver、3D Explore、GlobalFitが利用でき、解析用PCにも同ソフトウェアが導入されているため、長時間の解析にも対応可能です。
【主な特徴】

 ・1次元X線検出器（D/teX Ultra 250）による高速測定

 ・粉体および薄膜試料の多様な測定に対応

 ・小角散乱測定が可能

 ・各種解析ソフトウェアを標準搭載
【仕様】

 ・X線管球：銅（回転対陰極式）

 ・最大定格出力：45 kV、200 mA（9 kW）

 ・最小ステップ：0.0001°

 ・ゴニオメーター半径：300 mm

 ・光学系：CBO光学系切り替えユニット（集中法、平行ビーム法）

 ・ステージ：標準粉末用高さ基準試料板、透過小角用試料板、4インチウェハー用試料板

 ・検出器：シンチレーションカウンタ、1次元半導体検出器（D/teX Ultra 250）

 ・その他：Cu用カウンタモノクロメータユニット（シンチレーションカウンタ用）、Cu-Kβ用フィルター