電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）

仕様 特徴

冷陰極電界放出形電子銃を用いた走査型電子顕微鏡です。 電子ビームを細く収束させることができるため超高倍率の表面構造観察が可能です。 エネルギー分散型X線分析（EDX）装置により、観察試料の元素分析が可能です。