レーザーラマン顕微鏡

仕様 特徴

本装置は、ラマン分光法により試料の成分組成、結晶構造、化学構造の解析を行う顕微ラマン分光装置です。スペクトル画像を取得することで、物質や結晶の空間分布を可視化することが可能です。532 nmおよび785 nmのレーザーを搭載し、ライン照明による高速イメージングと高い空間分解能（最大350 nm）を実現しています。半導体、無機材料、高分子、生体材料など幅広い分野で利用されています。
【主な特徴】
・ラマンスペクトルによる構造・組成解析 ・スペクトルイメージングによる分布可視化 ・高分解能（最大350 nm）での顕微分析 ・ライン照明による高速イメージング

【光学系・測定系】
・顕微鏡：正立型（透過／反射照明） ・レーザー波長：532 nm、785 nm ・照射方式：ポイント照明／ライン照明 ・スキャナー：ガルバノミラーによる高速XY走査、Z方向ステージ走査（ステップ幅50 nm）

【分光性能】
・グレーティング：300／600／1200 gr/mm ・分光分解能：1.6 cm⁻¹（1200 gr/mm使用時） ・ラマンシフト範囲：80～4000 cm⁻¹

【検出・分解能】
・検出器：電子冷却CCD（1340×400画素） ・空間分解能（X/Y/Z）：350 nm／1000 nm（×100、NA0.90対物レンズ使用時）

【対物レンズ】
・×5、×10、×20、×50、×100

【オプション】
・偏光測定セット（偏光フィルター、水晶波長板） ・密閉セル（LIBCell）：不活性雰囲気下でのラマン測定対応（試料径φ10 mm、深さ1.5 mm）