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ズースマイクロテック MJB4
中百舌鳥キャンパス C10棟クリーンルーム（クラス10）
本装置は、高精度な位置決めと露光が可能な手動マスクアライナです。露光最小線幅0.8 μm、位置決め精度1 μmと高い性能を有しており、小片から4インチ（φ100 mm）サイズまでの基板に対応可能です。 【主な特徴】 ・高精度な位置決めおよび露光が可能です ・露光最小線幅0.8 μm、位置決め精度1 μmを実現しています ・小型基板から4インチウェハまで対応可能です ・多様な露光モードに対応しています 【光学系・光源】 ・光学系：UV400（i線、h線、g線のブロードバンド） ・ランプ：Hg 350 W 【対応基板】 ・基板サイズ：S-5×5 mm、10×10 mm、25×25 mm、W-100 mm ・基板厚（リソ用）： 最大8.8 mm（基板＋マスク厚） 最大0.7 mm（バキュームコンタクト使用時） 【マスク仕様】 ・マスク厚：0.09インチ、0.125インチ（推奨） 【露光モード】 ・ソフトコンタクト ・ハードコンタクト ・バキュームコンタクト ・プロキシミティ 【マスクホルダー】 ・① 露光エリア：S-1インチ／マスクサイズ：M-2～5インチ角 ・② 露光エリア：W-4インチ／マスクサイズ：M-5インチ角 【チャック】 ・① 5×5 mm、10×10 mm角基板用 ・② 25×25 mm角基板用 ・③ 4インチウェハ用
※学外利用の実施及び料金についてはお問合せ下さい。※学内料金についてはお問合せください。
管理者：共用研究機器センター
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