学会発表

2022年

国際会議・国際セミナー等

  • 14th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '22 (ALC '22)(Okinawa, Japan, October 16-21, 2022)

K. Yoshida, T. Uemura, M. Yasuda

Molecular dynamics study of phonon density of states of electron-irradiated graphene

 

T. Ito, J. Yamaguchi, M. Yasuda

Computational study of mechanical properties of SiO2 nanorods under electron irradiation

 　

  • The 22nd International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT2022)(Toyama, Japan, October 5-7, 2022)

A. Sekiguchi

The Study of Bile Duct Stent Having Antifouling Properties Using Biomimetics Technique

 

R. Yamamura, Y. Kunitou, K. Kameyama, M. Yasuda and Y. Hirai

Computational study on the releasing process of slanted diffraction structure for AR glasses

 

D. Nakamura, Y. Hirai, and M. Yasuda

Stochastic Simulation of Deactivation Effects in UV Curable Resin

 

K. Kameyama, Y. Kunitou, H. Kawata, M. Yasuda and Y. Hirai

Compatibility of Thermal Property among in Nanoimprint Resin

 

Y. Kunitou, R. Yamamura, K. Kameyama, M. Yasuda and Y. Hirai

Study on smart process window design for thermal nanoimprint lithography using deep learning systems

 

H. Kawata, M. Yasuda, Y. Hirai, and H. Kikuta

Fabrication of self-standing PMMA film with 0.5 μm throughholes by imprint and photolithography hybrid process

 　

  • 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-39)(On-line, June 28-30, 2022)

(Invited) K. Imai, B. Inoue, Y. Hirai, M. Yasuda

Stochastic simulation of pattern formation in EUV resists with photo-decomposable quenchers

 

K. Kameyama, Y. Kunitou, H. Kawata, M. Yasuda, Y. Hirai

Process desgin for gycerol contained PVA based on hybrid deep learning system

 

R. Yamamura, Y. Kunitou, M. Yasuda, Y. Hirai

Computational study of release process on tilted diffraction structure for AR glasses

    国内学会・講演会等

    • 第83回応用物理学会秋季学術講演会（東北大学、仙台、2022年9月20日-23日）

    川田博昭、安田雅昭、平井義彦

    熱インプリントとフォトリソ併用による貫通孔付き自立樹脂薄膜の作製

    　

    吉田健二、植村拓、安田雅昭

    電子線改質されたグラフェンのフォノン輸送の分子動力学解析

    　

    井上文太、平井義彦、安田雅昭

    分子シミュレーションと深層学習による電子線リソグラフィのパターン形状予測システム

    　

    山田絵斗、平井義彦、安田雅昭

    ネガ型レジストを対象とした電子線リソグラフィの分子動力学解析

    　

    亀山開、國藤裕成、川田博昭、安田雅昭、平井義彦

    ディープラーニングのための熱ナノインプリント用樹脂の熱特性の検証

    　

    國藤裕成、山村龍平、亀山開、安田雅昭、平井義彦

    ディープラーニングを利用した熱ナノインプリントのプロセス設計

     　

    • 第71回高分子討論会（北海道大学、2022年9月5日-7日）

    （依頼講演）井上文太、平井義彦、安田雅昭

    確率論的シミュレーションと深層学習を用いた電子線リソグラフィのパターン形状の予測

    　　

    • ナノ荷電粒子ビーム産学連携委員会 2022年ナノ荷電粒子ビームに関する研究会（東京理科大学、2022年8月31日、会員限定）

    （依頼講演）安田雅昭

    電子と固体の相互作用の理論解析とその応用

       　

          • 日本顕微鏡学会第78回学術講演会（ビックパレットふくしま、郡山、2022年5月11日-13日）

          楠見将啓、平井義彦、安田雅昭

          深層学習を用いた金属材料の二次電子収率の予測