安田 雅昭 - プロフィール
経歴
1989年 大阪府立大学工学部 電子工学科卒業
1994年 大阪府立大学大学院 工学研究科 電子工学専攻単位取得後退学
1994年 大阪府立大学 工学部 助手
2004年 大阪府立大学大学院 工学研究科 電子物理工学分野 講師
2007年 大阪府立大学大学院 工学研究科 電子物理工学分野 准教授
2022年 大阪公立大学大学院 工学研究科 電子物理工学分野 准教授
研究略歴
学生時代は電子線やX線を利用したリソグラフィ技術を対象に実験及びシミュレーション研究に取り組み学位を取得した。教員となってからは、電子と固体の相互作用を中心テーマとして研究対象を広げ、二次電子放出、X線放出、スピン偏極電子散乱、絶縁物帯電、照射損傷、試料加熱などの基礎過程とそれらを利用したナノリソグラフィ、電子顕微鏡、マイクロビームアナリシス、電子ビーム改質などにおける技術課題について、計算機シミュレーションを用いた研究に従事して来た。
学会活動
2005年-2007年 応用物理学会 関西支部 庶務幹事
2006年-2008年 電気学会 高分子材料と放射線の相互作用評価技術調査専門委員会 委員
2007年-現在 センシング技術応用研究会 幹事
2009年-現在 日本顕微鏡学会 ＳＥＭの物理学分科会 幹事
2010年-2014年 応用物理学会 代議員
2018年-2021年 日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 学界委員
2021年-現在 応用物理学会 ナノ荷電粒子ビーム産学連携委員会 幹事
代表的論文
- M. Yasuda, M. Koyama, K. Fukunari, M. Shirai, H. Kawata and Y. Hirai, “Computational Study of Pattern Formation for Chemically Amplified Resists in Extreme Ultraviolet Lithography”, J. Photopolym. Sci. Technol., 32, pp.339-343 (2019).
- M. Yasuda, M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata, and Y. Hirai, “Stochastic Simulation of Pattern Formation in Electron Beam Lithography”, J. Vac. Sci. Technol. B 36, p.06JA04 (2018).
- M. Yasuda, Y. Furukawa, H. Kawata and Y. Hirai, “Multiscale Simulation of Resist Pattern Shrinkage during Scanning Electron Microscope Observations”, J. Vac. Sci. Technol. B 33, p.06FH02 (2015).
- M. Yasuda, H. Sakai, R. Takai, H. Kawata and Y. Hirai, “Molecular Simulation of Pattern Formation in Electron Beam Lithography”, Microelectron. Eng. 112, pp.287-290 (2013).
- M. Yasuda, R. Mimura, H. Kawata and Y. Hirai, “Computational Study on Structural Modification of Single-Walled Carbon Nanotubes by Electron Irradiation”, J. Appl. Phys. 109, p.054304 (2011).
- M. Yasuda, Y. Kainuma, H. Kawata, Y. Hirai, Y. Tanaka, R. Watanabe and M. Kotera, “Time-Dependent Charge Distributions in Polymer Films under Electron Beam Irradiation”, J. Appl. Phys. 104, p.124904 (2008).
- M. Yasuda, Y. Kimoto, K. Tada, H. Mori, S. Akita, Y. Nakayama and Y. Hirai, “Molecular Dynamics Study of Electron-Irradiation Effects in Single-Walled Carbon Nanotubes”, Phys. Rev. B 75, p.205406 (2007).
- M. Yasuda, S. Yamauchi, H. Kawata and K. Murata, “Quantitative Electron Microprobe Analysis of Aluminum, Copper, and Gold Thin Films on Silicon Substrates”, J. Appl. Phys. 92, pp.3404-3409 (2002).
- M. Yasuda, K. Tamura, H. Kawata and K. Murata, “Simulation of Spin-Polarized Secondary Electrons”, J. Phys. D: Appl. Phys. 34, pp.1955-1958 (2001).
- M. Yasuda, H. Kawata and K. Murata, “Study of the Spatial Distribution of Backscattered Electrons from a Gold Target with a New Monte Carlo Simulation”, J. Appl. Phys. 77, pp.4706-4713 (1995).