活動情報

■日時　2025年７月20日（日）13時00分～16時00分

■会場　大阪公立大学　中百舌鳥キャンパス C10棟

■内容　小さな絵を描こう～微細加工のすすめ～①

■概要　クリーンルームに入室し、シリコン基板のオゾンクリーニングを行った。その後クラス10のイエロールームに移動し、クリーニングした基板上にフォトレジストをスピンコーティングした。フォトレジストを基板により密着させる目的でコーティングした基板を97度で3分間加熱した。